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小型滑軌式管式爐CVD系統(tǒng) 小巧，升溫速度極快，它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護。其結構使得拆裝爐管方便，操作簡捷，使用者可直接將密封腔體移出爐體，加快降溫過程，透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態(tài)。

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